특허(출원)
가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템
출원번호 | 1020090027381 | 출원일 | 2009-03-31 |
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출원인 | (주)센서테크 | 소속기관 사업자등록번호 | ***-**-**96* |
해외출원 여부 | 국내출원 | 출원/등록 국가 | 대한민국 |
우선권 주장번호 | - | 기여율 | 100 % |
등록번호 | 10-1096535-0000 | 등록일 | 20111214 |
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발명자 |
고성석
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이성만
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고하준
※ 과제 참여정보와 일치하는 연구자 상세정보로 정확하지 않을 수 있습니다. |
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IPC 코드 |
G01N 27/622
G01N 27/64
G01N 29/02
G01N 33/00
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CPC 코드 |
G01N 27/622
G01N 27/64
G01N 27/407
G01N 27/12
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법적상태 | 소멸 | ||
요약 | 본 발명은 대기 중의 시료 가스를 탐지하고 식별하는 장치 및 장치 내부의 시스템에 관한 것이다.본 발명은 두 가지 태양의 다중 탐지 시스템을 특징으로 한다. 본 발명의 다중 탐지 시스템은 가스 센서들이 다중화되어 다중화된 탐지가 가능하다는 장점이 있으며, 첫 번째 실시예에서는, 가스센서가 갖는 단점 중의 하나인 오탐지 감소 및 다양한 가스의 복합탐지를 위해, 다중 센서부를 IMS(Ion Mobility Spectrometry), PID(Photo Ionization Detector) 및 SAW (Surface Acoustic Wave) 센서를 어레이하여 구조화한다. 두 번째 실시예에서는 이온 검출을 위한 탐지 강도를 증가시키기 위하여 다중 센서부를 2개 이상의 동종의 센서를 어레이하며, 이때 다층으로 형성되는 고전압 전극과 이온 검출 전극쌍이 특정한 형태로 구조화되도록 한다.또한, 두 번째 실시예에서는, MEMS(Micro electro mechanical system) 공정을 이용하여 신규한 다층의 이온 센서 가공방법을 개시한다. |
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