국가연구개발성과
특허(출원)
그래핀 적용 대상의 표면에 그래핀을 직접 합성하는 방법 및 상기 방법을 이용하여 형성된 그래핀을 포함하는 소자
| 출원번호 | 10-2018-0053154 | 출원일 | 2018-05-09 |
|---|---|---|---|
| 출원인 | 한국과학기술연구원 | 소속기관 사업자등록번호 | ***-**-**52* |
| 해외출원 여부 | 국내출원 | 출원/등록 국가 | 대한민국 |
| 우선권 주장번호 | - | 기여율 | 33 % |
기타사항
| 등록번호 | 10-2082694-0000 | 등록일 | 20200224 |
|---|---|---|---|
| 발명자 |
송용원
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시암 우딘
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박재현
※ 과제 참여정보와 일치하는 연구자 상세정보로 정확하지 않을 수 있습니다. |
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| IPC 코드 |
C01B 32/184
H01L 29/786
H01L 29/16
G02B 6/02
G02B 6/293
H01S 3/11
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| CPC 코드 |
C01B 32/184
H01L 29/786
H01L 29/1606
G02B 6/02061
G02B 6/29332
H01S 3/1115
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| 법적상태 | 등록 | ||
| 요약 | 실시예들은 지지기판 상에 비금속층을 형성하는 단계; 상기 지지기판 상의 비금속층의 맞은편 공간에 상기 표면을 갖는 그래핀 적용 대상을 배치하는 단계; 및 상기 표면에 그래핀을 성장시켜 그래핀 필름을 합성하는 단계를 포함하되, 상기 그래핀의 핵 생성과 성장은 상기 표면 상에 안착되는(anchored) 탄소 원자에 의해 이루어지며, 상기 탄소 원자는 반응가스에 포함되어 반응기 내로 유입된 탄소 전구체를 상기 비금속층과의 상호작용에 의해 분해되어 상기 표면 상에 안착하는 것을 특징으로 하는, 그래핀 적용 대상의 임의의 표면에 그래핀을 직접 합성하는 방법 및 상기 방법에 의해 제조된 그래핀 필름을 포함하는 소자와 관련된다. | ||
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