국가연구개발성과

특허(출원)
가변온도 주사탐침 현미경

특허상세데이터 조회
출원번호 10-2018-0061342 출원일 2018-05-29
출원인 한국과학기술원 소속기관 사업자등록번호 ***-**-**98*
해외출원 여부 국내출원 출원/등록 국가 대한민국
우선권 주장번호 - 기여율 45 %

기타사항

기타사항
등록번호 10-2106570-0000 등록일 20200424
발명자 이진환
※ 과제 참여정보와 일치하는 연구자 상세정보로 정확하지 않을 수 있습니다.
IPC 코드
G01Q 70/04  G01Q 30/08 
CPC 코드
G01Q 70/04  G01Q 30/08 
법적상태 등록
요약 본 발명의 일실시예에 따르면, 가변온도 주사탐침 현미경에 있어서, 샘플 마운트와 SPM 헤드를 높은 열저항을 가지는 열차단 부재로 분리하여 샘플 표면 스캔시 SPM 헤드의 온도 상승을 방지시켜 SPM 탐침의 샘플 표면상 스캔 동작을 보다 정확히 제어할 수 있다. 또한, 서로 다른 열처리나 조성을 가지도록 형성한 복수의 샘플을 보관하는 샘플 저장소를 초저온부에 구현하여 복수의 샘플을 오염없이 장기간 보관할 수 있도록 함으로써 여러 조건의 샘플에 대한 측정을 신속히 반복적으로 수행할 수 있도록 한다.

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