연구보고서
차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발
등록번호 | TRKO201700001636 | 발행년월 | 2013-03 |
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발행기관명 | 한국반도체산업협회 | 발행국가/사용언어 | 대한민국 /국문 |
발주기관 | 한국산업기술평가관리원 | 과제관리(전문)기관 | 한국산업기술평가관리원 |
키워드 |
반도체 표준화;에너지 획득;하이브리드 집적회로;칩수준 EMC;3차원 적층;모바일 DRAM;탄소배출량;에너지 소비량;반도체 제조장비;온실가스;장비 성능 추적;장비 데이터 획득;450mm 표준화;실리콘웨이퍼;
Energy harvesting;Hybrid IC;Electrostatic discharge;Interface;Transceiver;Equipment Performance Tracking: EPT;Equipment Data Acquisition: EDA; |
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