연구보고서
시험평가 시스템 구축을 통한 차세대 반도체 장비용 핵심부품(진공펌프, 히터, 비젼 모듈) 개발
등록번호 | TRKO201800040174 | 발행년월 | 2017-07 |
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발행기관명 | 한국반도체연구조합 | 발행국가/사용언어 | 대한민국 /국문 |
발주기관 | 한국산업기술평가관리원 | 과제관리(전문)기관 | 한국산업기술평가관리원 |
키워드 | 반도체 장비;핵심부품;진공펌프;AlN 히터;비젼모듈; |
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