소프트웨어
반도체 웨이퍼 정렬을위한 노치 회피 알고리즘
소프트웨어 등록번호 | C-2022-056272 | 등록일 | 2022-12-23 |
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저작자 | 한국생산기술연구원 | 창작참여자 | 김형종 |
소프트웨어 종류 | 응용프로그램 - 기타 응용 소프트웨어 | 개발기간 및 소요공수 | - |
적용분야 | 반도체 장비 | ||
소프트웨어 개요 | - | ||
소프트웨어 특징 | 반도체 웨이퍼에 존재하는 노치에 상관없이 웨이퍼를 정밀하게 정렬할 수 있는 알고리즘 | ||
개발목표 | - | ||
적용표준 | - | ||
인증현황 | - |
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