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국가연구개발성과
반도체 공정용 플라즈마 장치의 공간 평균 시뮬레이터 기술
기본정보
연차별 성과
상세데이터 조회
최초기술실시 계약년도
2013
기술료 계약체결일
-
기술실시 대상국가
-
실시방식
제3자 실시
기술실시 대상기관
-
대상기관 사업자등록번호
-
당해년도기술료금액
26,856,000 원
정부납부기술료여부
N
총민간연구비
0 원
총정부출연금
0 원
납부방식
경상(매출정률)
연구개발성과소유기관
비영리법인(대학/출연연)
기술실시내용
-