특허(출원)
반도체 장치 및 그의 제조 방법
출원번호 | 10-2022-0025551 | 출원일 | 2022-02-25 |
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출원인 | 연세대학교 산학협력단;삼성전자주식회사 | 소속기관 사업자등록번호 | ***-**-**50*;***-**-**00* |
해외출원 여부 | 국내출원 | 출원/등록 국가 | 대한민국 |
우선권 주장번호 | - | 기여율 | 100 % |
등록번호 | - | 등록일 | - |
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발명자 |
조만호
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권기현
※ 과제 참여정보와 일치하는 연구자 상세정보로 정확하지 않을 수 있습니다. |
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IPC 코드 |
H01L 29/66
H01L 29/78
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CPC 코드 |
H01L 29/66795
H01L 29/785
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법적상태 | 공개 | ||
요약 | 2차원 반도체 물질을 포함하는 반도체층을 형성하는 것, 상기 반도체층 상에 희생층을 형성하는 것, 상기 희생층 상에 금속 콘택층을 형성하는 것, 및 상기 희생층을 제거하는 것을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법을 제공하되, 상기 희생층이 제거된 후, 상기 반도체층과 상기 금속 콘택층은 반 데르 발스(Van Der Waals) 결합을 통해 접합될 수 있다. |
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