국가연구개발성과

특허(출원)
임프린트 공정으로 효율이 개선된 메타표면을 제조하는 방법

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출원번호 10-2022-0010871 출원일 2022-01-25
출원인 포항공과대학교 산학협력단;고려대학교 산학협력단 소속기관 사업자등록번호 ***-**-**29*;***-**-**38*
해외출원 여부 국내출원 출원/등록 국가 대한민국
우선권 주장번호 - 기여율 0 %
※ 2023년 이후 특허 성과는 최종 확정된 정보가 아니며, 조사분석 확정시 기여율 등 일부 정보가 변경될 수 있습니다.

기타사항

기타사항
등록번호 10-2628261-0000 등록일 20240118
발명자 이헌 ; 노준석 ; 김원중 ; 김주훈 ; 최호정 ; 성준화 ; 김예슬
※ 과제 참여정보와 일치하는 연구자 상세정보로 정확하지 않을 수 있습니다.
IPC 코드
G02B 1/00  G03F 7/00 
CPC 코드
G02B 1/002  G03F 7/0002 
법적상태 등록
요약 본 발명은 효율이 개선된 임프린트공정으로 만든 메타표면을 제조하는 기술에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 폴리머기반의 임프린트 레진을 이용하여 나노안테나를 만든 뒤, 표면을 고굴절률 소재로 코팅하여 효율이 향상된 메타표면을 만드는 기술적 사상에 관한 것으로서, 일실시예에 따른 메타표면의 제조 방법은 나노안테나소재의 입자를 광경화 폴리머나 열경화폴리머와 혼합하여 기판위에 도포하는 단계, 소정의 패턴을 갖는 몰드로 상기 광경화 폴리머 또는 상기 열경화폴리머를 표면에 요철구조가 있는 임프린트 스탬프로 임프린팅 하여 상기 기판 상에 상기 광경화 폴리머 또는 상기 열경화폴리머에 의한 구조물을 형성하여 경화시키는 단계, 및 상기 경화된 구조물의 표면 상에 증착 방식을 통해 고굴절률 소재를 코팅하는 단계를 포함할 수 있다.

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