연구보고서
다층박막 탐침기반리소그래피 구형 100 nm 이하 플라즈몬 나노 구멍 배열 연구
(Study on sub 100 nm scaled plasmonic nano hole array fabricated by multi-layers applied tip based lithography)
| 등록번호 | TRKO202400011496 | 발행년월 | 2023-09 |
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| 발행기관명 | 동국대학교 | 발행국가/사용언어 | 대한민국 /국문 |
| 발주기관 | 한국연구재단 | 과제관리(전문)기관 | 한국연구재단 |
| 키워드 |
탐침기반 리소그래피;플라즈몬 나노 구멍;플라즈모닉스;나노 소재;나노 공정;
tip-based lithography;plasmonic nanohole;plasmonics;nanomaterials;nanofabrication; |
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