연구보고서
머신러닝을 이용한 반도체 리소그래피 해상도향상기술에 관한 연구
(Machine Learning Guided RET (Resolution Enhnacement Techniques) for Semiconductor Lithography)
등록번호 | TRKO202400009724 | 발행년월 | 2024-03 |
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발행기관명 | 한국과학기술원 | 발행국가/사용언어 | 대한민국 /국문 |
발주기관 | 한국연구재단 | 과제관리(전문)기관 | 한국연구재단 |
키워드 |
리소그래피;기계학습;인공신경망;포토마스크;전자설계자동화;
Lithography;Machine learning;Artificial neural network;Photomask;EDA; |
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