연구보고서
Two Head 웨이퍼 Grinding용 7kW급 1㎛ 이하 고정도 에어스핀들 국산화 기술개발
(Development of 7kW high-precision air spindle technology for wafer grinding machine)
| 등록번호 | TRKO202500009955 | 발행년월 | 2025-02 |
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| 발행기관명 | (주)디더블류테크 | 발행국가/사용언어 | 대한민국 /국문 |
| 발주기관 | 중소기업기술정보진흥원 | 과제관리(전문)기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 키워드 |
에어스핀들;웨이퍼;연삭;고정도;
Air spindle;Wafer;Grinding;7kW;High-precision; |
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