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  • 초소형 나노구조용 나노금속도금 공정 및 평가 플랫폼 개발

    (1711077463)

    2018

    나노·소재기술개발(R&D)

    안치원

    나노종합기술원

    과학기술정보통신부

    83000000 (125000000)

    「연구개발성과」 : 특허(2)

    ○ 대면적 나노섬유 나노구조 제작 및 나노도금공정 기반 나노소자 공정기술 개발, 해당 공정라이브러리 구축 - 대면적 전기방사 공정 개발을 통한 다공성 나노섬유 및 전도성 나노섬유 기반의 나노구조기판 제작 및 공정 플랫폼 구축 - 나노섬유기반 나노구조기판과 전기/무전해 나노도금 공정을 통한 에너지, 센서, 웨어러블 소자 응용기술 개발○ SSL과 나노도금 융합공정기술 및 응용기술 개발, 공정라이브러리 구축 - 8인치 웨이퍼 레벨 나노격자 제작을 위한 SSL 공정, 장비 및 공정 플랫폼 구축 - 대면적 SSL과 나노도금 융합공정 개발 및 10nm급 초미세 나노구조체 기반의 센서, 에너지, 웨어러블 소자공정 개발 - SSL, 나노도금 및 3D 프린팅 기반 저비용 고효율 대면적 웨어러블 소자용 전극 기술개발○ 참여기업과의 나노도금 및 본딩 기술 공동개발 - 8인치 웨이퍼레벨 도금과 본딩 장비 및 시제품 제작○ 나노구조 실시간 및 3차원 관찰 플랫폼 기술 개발 - 다층구조, 3차원 나노구조의 실시간 분석용 시료제작 기술개발

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